德國佛羅恩霍夫電子納米系統(tǒng)研究所（ENAS）與克姆尼茨工業(yè)大學(xué)（TU Chemnitz）攜手，共同研究如何將大型且笨重的實(shí)驗室設(shè)備縮小到微米或納米級規(guī)模互聯(lián)網(wǎng)資訊。上周，筆者在德勒斯登（Dresden）參加歐洲半導(dǎo)體展（SEMICON Europe）后也到此造訪，研究人員們展示一款基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）反射與繞射光閘的最新微米與納米級光譜儀互聯(lián)網(wǎng)資訊。

Fraunhofer開發(fā)出可攜的手持近紅外線光譜儀，利用MEMS技術(shù)降低尺寸與價格，可取代當(dāng)今所用的大型、昂貴設(shè)備

Fraunhofer擁有67所研究機(jī)構(gòu)遍布德國，每個機(jī)構(gòu)各專注于不同的應(yīng)用與技術(shù)，總共雇用了23,000名科學(xué)家與工程師，研發(fā)預(yù)算高達(dá)20億美元，其中的30%來自政府資助，其他70%則來自與產(chǎn)業(yè)的合作互聯(lián)網(wǎng)資訊。

基于MEMS的光譜儀有兩種尺寸——小型與微型級。較大尺寸的機(jī)型大約有鞋盒的三分之一（相形之下，現(xiàn)有的實(shí)驗室光譜儀尺寸相當(dāng)于行李箱大小），利用MEMS光學(xué)干擾濾波器，廣泛涵蓋3-11微米波長。取決于所使用的干擾量級，全寬/半高（FWHW）頻寬大約可達(dá)到50-200nm的納米級。

微型MEMS光譜儀的完整檢測模組，采用TO-8封裝

電子可調(diào)的通頻帶利用2個相等且可移動的反射載子，達(dá)到70%以上的最大透射率，可讓施力于反射間隔上引起的振動與重力最小化。

目前用于微型光譜儀中最小Fabry-Perot干涉儀（FPI）的芯片尺寸約 7mm x 7mm x 0.6mm

較大的光譜儀可用于取代實(shí)驗室中不需要達(dá)到最高靈敏度或光譜范圍的光譜儀，或是作為取代某些特定應(yīng)用光譜儀的理想選擇。其他應(yīng)用包括工業(yè)制程光譜儀、沼氣廠房控制、燃油監(jiān)測系統(tǒng)以及食品品質(zhì)分析。

位于德國Chemnitz的佛羅恩霍夫電子納米系統(tǒng)研究所（ENAS）管理中心

較小的光譜儀基于Fabry-Perot干涉儀（FPI），可打造足以塞進(jìn)TO-8封裝的小尺寸。這款FPI芯片尺寸為7mm x 7mm x 0.6mm，用于擴(kuò)展標(biāo)準(zhǔn)固定波長多色紅外線探測器的功能。其極低價格和小尺寸使其適于紅外線光譜的大量應(yīng)用，包括光譜成像、醫(yī)療測量、工業(yè)氣體分析儀、衰減式全反射（ATR）傳感器、手持式分析儀、警示與安全系統(tǒng)等。